首頁 螢光光譜應用文章(Fluorescence Spectrophotometer)
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傳統PL量測易受濃度、功率干擾。本文解析時間解析光致發光(TRPL)與FLIM如何補上晶圓非輻射復合的電性資訊,並說明如何結合Raman影像與12吋晶圓載台,建立涵蓋結構、化學與電性的全晶圓分析方法,適用半導體材料研發與製程品質監控。
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