Milestone | Clean Chemistry

半導體客戶實例:如何大幅減低微量分析所耗費的試劑成本

作者利泓科技
日期2024-09-27

半導體級的酸純化方案

於 Class 100/ Class 1000 實驗室中
使用 ETHOS + subCLEAN + traceCLEAN 進行微量分析

ultrapur grade的試劑,通常以每公升數萬元來計價
而 Reagent grade的試劑則約莫在數百至上千元每公升。

於Class 100 實驗室的實際案例中
客戶將工廠製 500 mL total elements > 1000 ppt 的硝酸,純化得到 100 mL total elements <10 ppt 的硝酸試劑
另外在Class 1000 的實驗室案例中
醋酸由 > 30000 ppt 純化至 <1000 ppt (150 mL to 100 mL),整個過程僅需兩個小時。

規格簡述 - 酸純化系統

適用試劑:
- 硝酸、鹽酸、水、乙酸、氫氟酸
標準產量:
- 200 mL/h (duoPURE雙通道系統)
- 80 mL/h (SubClean 單通道系統)
儀器特色:
- 自動化液體填充/排出幫浦
- 功率與溫度全程式控制
- 蒸乾自動保護裝置

左表中使用Milestone duoPUR 酸純化系統
能有效地將Reagent grade Nitric acid 純化至 ultrapur grade,為您節省大量 的試劑成本。(相比於J.T. Baker Ultrex II Nitric acid)

想在ICP-MS挑戰低濃度量測?
您不該忽略造成背景執異常的一大原因,器材潔淨程度

使用傳統的泡酸方式,在需求高度潔淨的環境中並不適合
我們的客戶藉由 Milestone提供的自動化潔淨化學方案:酸純化 + 微波消化 + 聚焦式酸蒸氣清洗
輕鬆達成半導體等級的實驗需求
目前已於各廠區複製成功方式並穩定的運行

「聚焦式」酸蒸氣清潔系統:有效深入器皿深處

規格簡述 - 酸清洗系統

適用試劑:
- 65 ~ 68 % 硝酸
儀器特色:
- 聚焦式清洗技術
- 自動化液體填充/排出幫浦
- 功率與溫度全程式控制(非旋鈕式)
- 主動式排氣系統

自動化抽填pump 與 主動式排氣

- 主動式排氣、一鍵化控制(加酸、排酸、載台升降)

市售非自動化的酸洗裝置需人員手動補酸,並搬運大量酸液與容器
額外的波濺風險,除了容易對半導體級的實驗室造成額外汙染
也容易造成人員安全上的風險

Milestone提供更為安全、乾淨的酸洗使用流程

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我們提供 完整的實驗室樣品前處理工作流程

節省90%試劑花費
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