高端精密製程—電子級試劑中的有機污染物檢測

作者利泓科技
日期2024-10-01

此篇文章想讓你知道的是

  • 電子級試劑的重要性
  • 總有機碳TOC對電子級試劑的檢測意義
  • 適用於電子級試劑分析的TOC設備

關鍵字│電子級試劑 ‧ TOC ‧ 有機污染物 ‧ 品質監測 ‧ 精密製程

電子級試劑—高挑戰性的分析&生產標準

電子級試劑在需要高純度化學品如半導體、光學和鋰電池等產業中扮演著關鍵角色。舉例來說,半導體製程中清洗矽晶圓表面有機物或無機物之清潔液(如雙氧水H2O2, 硫酸H2SO4, 氨水NH4OH);PCB板製造中所使用電鍍液(如硫酸銅CuSO4)之製備原料(如硫酸H2SO4)等,都需要高純度,高潔淨度等級之化學品,來確保最終產品的品質與性能。

隨著精密製程越趨微細化的發展,即使是微量的雜質也可能對產品性能產生不可預測的影響,甚至動輒影響到整條產線,造成高額的損失。

有機微量雜質對精密製程帶來高額損失-電子級試劑潔淨度關鍵性指標-TOC_利泓科技_Rightek_AnalytikJena
Reports and Insights, LinkedIn (10) Electronic Grade Hydrogen Peroxide Market: Tapping into a US$ 462.3 Million Industry | LinkedIn 

總有機碳TOC分析—所有的污染(應該)都看得見

總有機碳(Total Organic Carbon, TOC)是評估電子級試劑潔淨度的關鍵性指標之一。作為總和參數(Sum parameter),總有機碳TOC分析除了原本已知的有機污染物,亦可以直觀顯示化學品中是否還有其他不需要存在的污染物成分(生產設備污染殘留,環境污染等)。

對要求嚴苛的精密製程產業,TOC分析可作為電子級產品品質門檻的重要標準。

高靈敏度,穩定,快速的品質把關系統

上述是 AnalytikJena 德國耶拿的總有機碳TOC分析設備。 適用於高純度電子級試劑如硫酸,鹽酸,磷酸,雙氧水,氨水等TOC含量分析:

  • 濕式氧化法具雙波段UV,超低維護之「軟」消化技術
  • 高溫燃燒溫度達950°C,且燃燒管具85g/L耐鹽能力
  • 分析TOC可同時分析TN結果
  • Easy Cal簡易建立標準曲線,降低人員操作誤差與門檻
  • 自動進樣器平行吹掃與分析設計讓樣品處理量翻倍,分析效率更好
  • 抗腐蝕之「聚焦」非分散式紅外線NDIR偵測器,提供十年保固
  • 寬廣偵測濃度範圍: 1 ppb ~ 10,000 ppm
  • 無需更換配件即可做到大範圍進樣體積50μL ~ 20mL
  • Peltier電子冷卻裝置精準控制樣品乾燥效率
  • Self Check System 即時監測系統氣流&氣壓,保障操作安全,精準維修
  • 主機可後續擴充固體進樣(TOC&TIC)系統,TN偵測系統