首頁 利泓專欄 元素分析 TOC/N/S/Cl 系列文章 高端精密製程—電子級試劑中的有機污染物檢測
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關鍵字│電子級試劑 ‧ TOC ‧ 有機污染物 ‧ 品質監測 ‧ 精密製程
電子級試劑在需要高純度化學品如半導體、光學和鋰電池等產業中扮演著關鍵角色。舉例來說,半導體製程中清洗矽晶圓表面有機物或無機物之清潔液(如雙氧水H2O2, 硫酸H2SO4, 氨水NH4OH);PCB板製造中所使用電鍍液(如硫酸銅CuSO4)之製備原料(如硫酸H2SO4)等,都需要高純度,高潔淨度等級之化學品,來確保最終產品的品質與性能。
隨著精密製程越趨微細化的發展,即使是微量的雜質也可能對產品性能產生不可預測的影響,甚至動輒影響到整條產線,造成高額的損失。
總有機碳(Total Organic Carbon, TOC)是評估電子級試劑潔淨度的關鍵性指標之一。作為總和參數(Sum parameter),總有機碳TOC分析除了原本已知的有機污染物,亦可以直觀顯示化學品中是否還有其他不需要存在的污染物成分(生產設備污染殘留,環境污染等)。
對要求嚴苛的精密製程產業,TOC分析可作為電子級產品品質門檻的重要標準。
上述是 AnalytikJena 德國耶拿的總有機碳TOC分析設備。 適用於高純度電子級試劑如硫酸,鹽酸,磷酸,雙氧水,氨水等TOC含量分析: