您將在本篇文章了解到：
PiFM是Nano-IR的一種，結合QCL連續波長雷射與原子力顯微鏡AFM，使雷射集中於AFM的針尖下方，當符合QCL波段的分子結構會產生極化，吸引上方的針尖，影響AFM懸臂的震動，進而產生訊號，這個效應的空間解析到最小可以達到5奈米，除了保有原本AFM對於樣品表面地形、電導度以及相差之外，額外提供等同於中紅外光譜的分子結構鑑定能力。
矽晶圓表面光柵結構奈米處理檢測
接下來我們舉一個實際的應用實例，首先我們準備一片光柵結構的矽晶圓，在表面分別具有30nm左右的氮化矽與5nm左右的二氧化矽，經過製程使表面覆蓋一層OTDS(octadecyltrichlorosilane)的SAM層，希望藉由PiFM來了解光柵結構的波峰與波谷是否會影響SAM層的覆蓋效果。
第一步在SAM層尚未覆蓋之前，先對樣品進行分析，發現波峰與波谷的二氧化矽分別是結晶態與不定型態，由於無法透露矽晶圓在這之前經過什麼處理，所以我們無法去做解釋，但是足以證明PiFM除了可以具備AFM分析表面型態的能力，同時也可以對結構進行定性。
接著我們分析覆蓋SAM層之後的光柵結構，從圖譜強度可以了解，位於波谷的SAM層具有較高的密度，顯示波峰與波谷的確會影響SAM層的覆蓋厚度。
如果您想了解更多有關PiFM的應用與分析方式，利泓科技在6月會舉辦針對PiFM原理與應用介紹的網路研討會，如果您符合下列身分，我們推薦您參加：
PiFM產品簡介
