▸具有優秀感度表現的FTIR儀器搭配wafer分析專屬配件
▸使用者定義分析點位及數量自動化分析流程
▸值得用戶信賴的儀器保障：紅外光源、雷射、干涉儀最高10年保固
▸遵循ASTM方法的可靠的性能審認試驗(performance verification test)
▸儀器內部備有可追溯聚苯乙烯(polystyrene)標準片，方便用戶隨時均可確認儀器保持在最佳狀態
▸友善的軟體介面與儀器搭配、專業的售後技術支援，對於設備不熟悉的用戶可將人員自行研究成本大幅降低
⽤於 Epi 晶圓採樣的反射光路，使用干涉儀轉換紅外線(IR)光源在⼲涉儀中變換，從 Epi Wafer樣品的表⾯反射並產⽣隨後分析厚度值的訊號，達偵測器接收。
