微區螢光光譜元素分析儀|iXRF|μ-XRF (spot size: 5um)
iXRF μ- XRF technique
．5 微米空間解析度：5 µm spot size
．高S/N值
．高準確度與精確度：降低 XRF peak 重疊問題
．待測物型態多樣化：無導電樣品、固態、液態、粉末皆可分析
．高乘載、大面積樣品台：適用於封裝後積體電路板分析與鍍層厚度測試 (承載 10 kg，400x300 mm mapping)
英文產品型錄
iXRF μ- XRF technique
．5 微米空間解析度：5 µm spot size
．高S/N值
．高準確度與精確度：降低 XRF peak 重疊問題
．待測物型態多樣化：無導電樣品、固態、液態、粉末皆可分析
．高乘載、大面積樣品台：適用於封裝後積體電路板分析與鍍層厚度測試 (承載 10 kg，400x300 mm mapping)
英文產品型錄|
|
|
|
一般μ-XRF儀器設計 (resolution: 25μm) |
iXRF μ-XRF (resolution: 5μm) |
如右圖 iXRF μ-XRF, 5μm resolution 所示，iXRF μ-XRF 將 X-ray 光源透過 Poly-capillary 聚焦光學配件，將光束(spot size)縮小至 5 μm，並以垂直式照射於樣品表面，使得我們可以用解析度為 5 μm 來分析待測物表面資訊。
(一般 μ-XRF，由於激發光束須經由一個角度才照射到表面，造成 spot 為橢圓型，因此解析度也限制在 10~25μm)
實際案例：從下圖實際測試中可得到 iXRF 5μm resolution，得到的樣品畫質較佳
|
|
|
|
一般μ-XRF( resolution: 20μm) |
iXRF μ-XRF (resolution: 5μm) |
以下為 400 ppm 濃度比較圖，可得知 μ-XRF 相較於 SEM-EDS 可得到較佳的 S/N 值，Detection limit 接近於 low ppm。
|
|
|
|
SEM-EDS |
iXRF μ-XRF |
如下圖所示，μ-XRF 高解析度，清楚分出 S、Mo、Pb 譜線
|
|
|
|
SEM-EDS |
iXRF μ-XRF |
|
|
ATLAS M |
ATLAS XL |
|
Sample Types |
Solids, Liquids, Particles, Powders |
|
|
Sample Chamber Size |
508x457x254mm |
950x650x365mm |
|
Measurement Media |
Air, Vacuum, He |
|
|
Excitation Source |
◆Primary: 50W / 50kV / 1mA |
|
|
Excitation Parameters |
◆Aperture or Polycapillary Collimation |
|
|
Detector |
◆SDD (Si-Pin upon request) |
|
|
Stage |
◆Motorized X,Y,Z (available) |
◆Motorized X,Y,Z (available) |
|
Sample Travel |
◆Total: 220x220x120mm |
◆Total: 600x300x210mm |
|
Sample View |
Three Sample Positioning and Analysis Cameras |
|
|
Element Range |
Na-U |
|
|
Quality and Safety |
CE certified RoHS, Radiation < 1 μSv/h |
|
