隨著半導體製程的持續進步，數個奈米大小的晶片逐漸成為主流。在不影響效能的前提下，如何在這些奈米區域內建構出優良的電晶體結構，已成為眾多半導體廠商研究的首要目標。為達成此目標，從供應商提供的化學品到每個製程階段都受到嚴格監控。然而，隨著晶片尺寸的持續縮小，傳統的分析技術如FTIR或拉曼顯微鏡已無法滿足先進的半導體製程需求。
為獲取奈米尺度下的化學鍵結資訊，光誘導力顯微鏡技術（PiFM）結合了原子力顯微鏡與雷射技術，能夠在5 nm空間解析度下提供材料的紅外光譜資訊。
在本次研討會中，我們將介紹PiFM的工作原理，並展示近期熱門的分析實例，讓各位能迅速了解該技術如何協助材料的開發與分析。
國立臺灣大學化學所博士，研究所期間以光譜方法做過多種氫鍵系統的激發態動力學研究，熟悉多種光譜分析技術，且在穩態光譜與時間解析光譜的分析上具有豐富經驗，可以協助客戶在光譜測量上遇到的問題。